近日,在2024年度全國半導體材料標準工作年會上,電科材料國盛公司主持制定的《埋層硅外延片》國家標準,榮獲全國半導體材料標準化分技術委員會優秀技術標準一等獎。
國盛公司以自身的生產技術平臺為基礎,結合國內主力芯片廠商對埋層硅外延片的技術要求,在國際通用標準體系基礎上,大量采集了國內外企業埋層硅外延產品的實際指標和運行數據,確定了埋層硅外延片的質量技術細節,規范和統一了具體的技術性能項目和指標,制定了《埋層硅外延片》國家技術標準。
該標準對進一步提升埋層硅外延片生產工藝、質量控制、采購及銷售管理都有重要的指導作用。
(來源/電科材料)