光電測試
FPA組件傳遞函數成像測量系統
本設備主要用于測試紅外整機最小可分辨溫差（MRTD）、最小可探測溫差（MDTD）、噪聲等效溫差（NETD）、傳遞函數（MTF）、視場、光軸一致性、空間分辨率、畸變等指標。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
波段 |
0.4μm ~ 14μm |
平行光管焦距 |
2998mm |
平行光管口徑 |
300mm |
黑體溫度精度 |
±0.01℃ |
轉臺精度 |
±20” |
轉臺范圍 |
360°×60° |
NETD測試范圍 |
10mK以上 |
MRTD靶標范圍 |
空間頻率0.163C/mrad ~ 14.994C/mrad |
MDTD靶標范圍 |
空間頻率0.164/mrad ~ 14.994/mrad |
MTF精度 |
±0.03MTF點 |
支持視頻格式 |
模擬標準PAL、NTSC制； 數字Camlink輸出； LCD、監視器輸出 |
地址：北京市朝陽區酒仙橋路4號 電話：010-64303480 010-84321451
PTI弱吸收測量儀
本設備主要用于晶體材料內部雜質吸收和膜層缺陷弱吸收。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
測量范圍 |
透射膜層、透明晶體、透明陶瓷、透明玻璃等 |
波長范圍 |
1064nm |
測量精度 |
±0.1nm |
地址：北京市朝陽區酒仙橋路4號 電話：010-64303480 010-84321
波長干涉儀
本設備主要用于測量能夠透過1064nm光和633nm光的晶體波前畸變，例如：Ho:Cr:Tm:YAG、Er:YAG等。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
測試波長范圍 |
633nm、1064nm |
測試尺寸范圍 |
Ø3mm ~ Ø10mm×20mm ~ 150mm @1064nm Ø3mm ~ Ø10mm×250mm @633nm |
測量精度 |
λ/12@1064nm λ/20@633nm |
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測焦儀
本設備主要用于正值或負值有效焦距的測量；調制傳遞函數的測量；后截距的測量；曲率半徑的測量；角度的測量等。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
焦距測量精度 |
0.1%~0.3% |
軸上傳遞函數 |
波長范圍：400nm~1000nm 小孔精度：2% |
后截距測量精度 |
0.05%~0.3% |
角度 |
測量精度：1” 重復性：0.2” |
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超級球徑儀
本設備主要用于各類光學鏡頭曲率半徑的檢驗工作。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
測量范圍 |
凸面：+3mm ~ +∞ 凹面：-6mm ~ -∞ |
測量口徑 |
6~150mm（可擴展至300mm） |
測量精度 |
線性編碼器分辨率為0.1μm，絕對精度為±0.2μm，所測得的曲率半徑精度為0.01%。 |
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單程損耗測試系統
本設備主要用于測量晶體材料在1064nm波長激光單次通過后造成的光能量損耗。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
測試波長范圍 |
1064nm |
測試尺寸范圍 |
Ø4mm ~ Ø20mm×250mm |
測量誤差 |
≤±10% |
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PGI Optics 300 非球面輪廓儀
本設備主要用于平面、球面、非球面光學元件研磨及拋光階段的面形測量及球面光學元件的曲率半徑測量。可通過測量被加工件的面型誤差，自動生成加工指令，反饋加工設備進行修補加工，以改善被加工件質量品質。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
最大測量直徑 |
260mm |
最大測量高度 |
45mm |
測量面型精度 |
0.3um （采用60mm測針對傳感器全量程標定） |
面型重復精度 |
0.1μm |
傳動箱直線精度 |
≤110nm/260mm |
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分光光度計
本設備主要用于樣品0-60度透過率的測量，樣品6-68度反射率的測量，樣品漫反射測量，偏振光p和s光的透過和反射測量。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
波長范圍 |
185nm ~ 3300nm |
尺寸范圍 |
Ø3mm ~ Ø20mm @透過率 Ø5mm ~ Ø20mm @反射率 |
測量精度 |
±0.1nm |
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傅里葉紅外光譜儀
本設備主要用于紅外材料和膜層的中、遠紅外光譜測量。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
測量范圍 |
紅外材料、紅外膜層 |
波長范圍 |
7800cm-1 ~ 350cm-1 |
波數精度 |
優于0.01cm-1 |
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高精度測角儀
本設備主要用于測量具有一定反光率的平面固體的幾何角度，例如：晶體棱鏡，金屬多面體等。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
測量范圍 |
直徑≥Ø3mm |
測量精度 |
≤0.3” |
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光束分析儀
本設備主要用于檢測光學系統光束截面的相對功率空域分布、光束直徑、橫模模式、束散角等，也可用于進行光學系統光軸一致性的調整；調整光學系統的光學指標。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
波長范圍 |
190nm~1800nm |
分辨率 |
最高0.1μm |
光束口徑 |
最小2μm |
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紅外光學傳遞函數（MTF）測試儀
本設備可測試紅外光學物鏡系統、望遠系統的光學傳遞函數（MTF）、焦距、透過率、畸變等指標。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
波段 |
1μm ~ 2.3μm 3μm ~ 5μm 8μm ~ 12μm |
平行光管焦距 |
2500mm |
平行光管口徑 |
300mm |
可測鏡頭規格 |
F數：0.7 ~ 4 焦距：10mm ~ 1200mm 鏡頭入瞳直徑：0mm ~ 300mm 軸向長度：0mm ~ 1000mm 重量：＜20Kg |
成像分辨率 |
0lp/mm ~ 300lp/mm @1μm ~ 2.3μm 0lp/mm ~ 300lp/mm @3μm ~ 5μm 0lp/mm ~ 100lp/mm @8μm ~ 12μm |
MTF精度 |
±0.03MTF點 |
焦距精度 |
±1% |
透過率 |
±5% |
畸變 |
±1% |
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紅外整機測試設備
本設備可測試-50ºC到+65ºC環境下的紅外整機MRTD（最小可分辨溫差）、MDTD（最小可探測溫差）、NETD（噪聲等效溫差）、MTF（傳遞函數）、SiTF（信號傳遞函數）、固定圖案噪聲、空間分辨率等指標。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
波段 |
0.4μm ~ 14μm |
平行光管焦距 |
1500mm |
平行光管口徑 |
250mm |
黑體溫度精度 |
±0.01℃ |
NETD測試范圍 |
10mK以上 |
MRTD靶標范圍 |
空間頻率0.28C/mrad ~ 10C/mrad |
MDTD靶標范圍 |
空間頻率1/mrad ~ 20/mrad |
MTF精度 |
±0.03MTF點 |
支持視頻格式 |
模擬標準PAL |
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紅外中心偏測量儀
本設備主要用于光學組件中心偏差的測量；共軸光學系統的裝調；初步驗證共軸光學系統的光軸一致性；復雜光學系統中不同鏡片的中心偏差測量；晶體表面平整度測量。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
光源 |
可見光：LED 中波紅外：3.39μm氦氖激光 長波紅外：10.3μm~10.8μm CO2激光 |
測量范圍 |
EFL/R：±2mm~2000mm |
定心精度 |
可見光：0.2μm 紅外波段：1μm |
重復精度 |
±0.1μm |
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Zygo Verifier 6”干涉儀
本設備主要用于精確測量光學零件表面的面型精度、平行度。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
有效測量口徑 |
6” |
測量精度 |
PV值示值誤差為±0.008wave |
測試重復性 |
＜5% |
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鏡面定位儀
本設備主要用于可見光、紫外光學元件中心厚度和光學鏡頭及光學系統空氣間隔的檢測；可測量單個球面透鏡、非球面透鏡、柱面鏡、雙膠合透鏡、三膠合透鏡及平面鏡等光學元件的中心厚度；可檢測光學系統折轉光路的裝調質量。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
檢測最大光學厚度 |
800mm |
測量精度 |
0.15μm |
裝卡尺寸 |
最大200mm |
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雙路中心偏檢測儀
本設備主要用于測量鏡片數量較多的光學系統、測量不透可見光的鏡片中心偏差以及裝配紅外光學鏡頭，也可用于調整單片鏡片中心偏差、晶體表面平整度測量等。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
工作波段 |
可見光波段與激光波段，波長為380Hz-750Hz。 |
測量口徑 |
最大500mm |
測量精度 |
±0.2μm / ±2” |
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消光比測試系統
本設備主要用于測量能夠透過1064nm光和633nm光的晶體的消光比，例如：Ho:Cr:Tm:YAG、Er:YAG等。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
測試波長范圍 |
633nm、1064nm |
測試尺寸范圍 |
Ø3mm ~ Ø10mm×250mm |
測量誤差 |
≤±5% |
地址：北京市朝陽區酒仙橋路4號 電話：010-64303480 010-84321451
原子力顯微鏡
本設備主要用于超光滑光學表面加工粗糙度監控和膜層表面粗糙度監控。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
測量范圍 |
最大50μm×50μm |
測量精度 |
分辨度優于0.1nm |
地址：北京市朝陽區酒仙橋路4號 電話：010-64303480 010-84321451
FPA組件傳遞函數成像測量系統
本設備主要用于測試紅外整機最小可分辨溫差（MRTD）、最小可探測溫差（MDTD）、噪聲等效溫差（NETD）、傳遞函數（MTF）、視場、光軸一致性、空間分辨率、畸變等指標。
主要指標及參數
指標 |
參數 |
波段 |
0.4μm ~ 14μm |
平行光管焦距 |
2998mm |
平行光管口徑 |
300mm |
黑體溫度精度 |
±0.01℃ |
轉臺精度 |
±20” |
轉臺范圍 |
360°×60° |
NETD測試范圍 |
10mK以上 |
MRTD靶標范圍 |
空間頻率0.163C/mrad ~ 14.994C/mrad |
MDTD靶標范圍 |
空間頻率0.164/mrad ~ 14.994/mrad |
MTF精度 |
±0.03MTF點 |
支持視頻格式 |
模擬標準PAL、NTSC制； 數字Camlink輸出； LCD、監視器輸出 |
地址：北京市朝陽區酒仙橋路4號 電話：010-64303480 010-84321451
